真空氣氛爐又叫無氧退火爐、真空氣氛燒結爐等，可分為管式真空氣氛爐和箱式真空氣氛爐兩種結構。是采用把物體在通入定氣體的爐膛內進行燒結的設備。般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。在選購的時候不同的物料所需要的氣氛形式不同，般廠家會根據用戶物料的性來進行選購。
工作原理：
真空氣氛爐是種將真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的果。其工作原理是把物體在通入定氣體的爐膛內進行燒結的方法進行。
真空熱處理是指熱處理工藝的部和部分在真空狀態下進行的，其中包括低真空、中等真空、高真空和超高真空等，真空熱處理可以實現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高，實際上真空熱處理也是屬于氣氛控制熱處理范疇。
對于真空氣氛爐來說由于其氣氛的形式有很多種，因此需根據物料的性來選擇合適的氣氛形式，例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。有時為保護燒結調協也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。
結構形式：
般由由爐體、加熱室、真空系統、充放氣系統、風冷循環系統、電控系統、氣動系統，水冷系統及料車組成。冷卻系統是對爐體、爐蓋、密封圈、真空泵及水冷電進行冷卻的，是真空氣氛爐的重要部分，因此冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。
適用行業：
真空氣氛爐廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、新材料開發、種材料、建材等域的生產及實驗。
使用注意事項：
1、送料之前所有工件必須清理干凈并進行干燥后方可進入爐內，要防止水分和污物進入爐體內部。
2、旦各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即進行暫停工作，進行排除，不要強行操作，以免損壞機件。
3、不可超負荷使用真空氣氛爐，在進行購買時候般廠家會給出使用溫度的范疇， 高使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。
4、測量真空氣氛爐溫均勻性時，應注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及距加熱元件的遠近。要避免加熱元件和產品發生反應，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小， 后過熱而燒斷。
5、真空氣氛爐子升溫后，不能突然破壞真空系統，更不可打開高溫真空氣氛爐爐門。注意充大氣進去前,應關閉真空計開關,防止真空計老化。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。對于真空加熱元件在溫度高、真空度不好以及冷熱變化大情況下，容易引起氧化。對于鉬加熱爐，正常使用維護中注意應冷卻至200℃以下方可停送保護氮氣，80℃以下才能打開爐門。
6、冷卻系統是高溫真空氣氛爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這般采用種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月次進行水質試驗以防過處理或欠過理。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須別注意，應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
7、真空氣氛爐內經常(至少每天或每班使用前)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，甚至燒壞鉬加熱棒。底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構件每使用段時間，應該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融處與保溫層發生打火，使鉬絲熔化。
常見故障處理方法：
、不升溫：
1、檢查控制電箱中負責加熱的繼電器是否吸合，若是沒有的話就檢查下線路或者繼電器是不是有問題。若是吸合有可能是烘干塔那邊的溫度計有問題，溫度顯示異常。
2、電爐絲故障或者短路，般表現為：電源電壓正常，控制器工作正常，電流表無顯示，可用萬用表檢查并用相同規格的電爐絲更換。
3、加熱元件故障、可檢測下電阻值，再就是調壓器，二次電壓，確定是元件問題的可以聯系廠家進行更換。
二、突然不運轉
1、線路故障或者是部件除了問題，檢查更換。
2、長時間不清理導致內壁積垢厚的地方，透氣截面積減小，氣流的阻力增大，使積垢少的地方煙氣流速加快造成被迫停機。
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